SiOx<2 является перспективным материалом для использования в качестве запоминающего слоя
ячейки резистивной памяти (Resistive Random-Access Memory, RRAM) [1]. Несмотря на многочисленные
исследования SiOx, обусловленные его использованием в оптоэлектронных устройствах и солнечных
элементах, электронная структура SiOx систематически не изучена. Чёткое понимание электронной
структуры SiOx различного состава необходимы для контроля его свойств и оптимизации технологии
RRAM на основе SiOx. Целью работы является исследование электронной структуры SiOx<2 с помощью ab
initio моделирования.
Моделирование проводилось в программном пакете Quantum ESPRESSO, основанном на теории
функционала плотности с корректным воспроизведением значений ширины запрещённой зоны. Структура
SiOx моделировалась последовательным удалением атомов кислорода из 18-атомной суперячейки α-SiO2 с
последующей полной структурной релаксацией. Критериями выбора атомов кислорода для удаления были
минимум полной энергии ячейки и равномерное уменьшение её объёма.
Корректность расчётной методики подтверждается
согласием рассчитанных и взятых из литературы
экспериментальных зависимостей величины запрещённой зоны (Eg), а также показателя преломления (n) SiOx от величины x. Расчётное значение Eg = 8.0 эВ для SiO2 согласуется с
известными из литературы данными, тогда как для чистого Si
расчёт переоценивает Eg, что объясняется использованием в
расчётах точной структуры SiO2 и модельной для Si.
Спектры парциальной плотности состояний SiOx,
совмещённые по краю нижней (O2s) валентной подзоны на 18.3
эВ ниже Ev для SiO2 (глубокие уровни наименее чувствительны к
атомному окружению), позволяют построить энергетическую
диаграмму SiOx. Диаграмма построена с
использованием факта, что Ev в аморфном (a-) и кристаллическом
(c-) Si имеют энергию 5.2 эВ от уровня электрона в вакууме;
Eg=1.1 эВ для с-Si и 1.6 эВ и для a-Si. Приведённая диаграмма
позволяет оценить энергию потенциальных барьеров для
электронов (Фe) и дырок (Фh) на границе a-Si/SiOx и c-Si/SiOx для
различных значений x. Уменьшение Eg при обогащении SiOx
кремнием осуществляется за счёт примерно симметричного
сдвига Ev и Eс в запрещённую зону SiO2. Верх валентной зоны
SiOx формируется Si3p атомными орбиталями. Сдвиг Ev с
уменьшением параметра x можно объяснить тем, что добавление O в SiOx сопровождается увеличением энергии связующих орбиталей Si – Si связи.