A scanning reflection X-ray microscope for magnetic imaging in the EUV range

The mechanical setup of a novel scanning reflection X-ray microscope is presented. It is based on zone plate optics optimized for reflection mode in the EUV spectral range. The microscope can operate at synchrotron radiation beamlines as well as at laboratory-based plasma light sources. In contrast to established X-ray transmission microscopes that use thin foil samples, the new microscope design presented here allows the investigation of any type of bulk materials. Importantly, this permits the investigation of magnetic materials by employing experimental techniques based on X-ray magnetic circular dichroism, X-ray linear magnetic dichroism or the transversal magneto-optical Kerr effect (T-MOKE). The reliable functionality of the new microscope design has been demonstrated by T-MOKE microscopy spectra of Fe/Cr-wedge/Fe trilayer samples. The spectra were recorded at various photon energies across the Fe 3p edge revealing the orientation of magnetic domains in the sample.

Interferometrisches Rasterkraftmikroskop: Aufbau, messtechnische Eigenschaften und Applikationsmessungen / Interferometric atomic force microscope: design, metrological properties and application measurements

Zusammenfassung Der vorliegende Beitrag stellt die besonderen Merkmale, die Funktionsweise, den Aufbau, die messtechnischen Eigenschaften sowie wichtige Applikationsmessungen des interferometrischen Rasterkraftmikroskops dar. Das interferometrische Rasterkraftmikroskop dient als Antastsystem in der Nanopositionier- und Nanomessmaschine NMM-1. Sein Hauptmerkmal ist der Lagedetektor - das kombinierte Sondenmesssystem, das die gleichzeitige Erfassung der Torsion, Biegung und Position des Cantilevers mittels Lichtzeiger und Interferometer ermöglicht. Es wird das Prinzip der gleichzeitigen Erfassung von Position und Winkellage der Sonde mittels eines Interferometers und eines Lichtzeigers erläutert, die optische Anordnung vorgestellt und anschließend die durchgeführte Dimensionierung des Lagedetektors diskutiert. Außerdem widmet sich dieser Beitrag neben den messtechnischen Eigenschaften des interferometrischen Rasterkraftmikroskops auch der Kalibrierung des Antastsystems und insbesondere der Unsicherheitsanalyse einer Beispielmessung.