Vacuum arc ion sources-a brief historical review
1997 ◽
Vol 25
(6)
◽
pp. 1222-1228
◽
1994 ◽
Vol 65
(10)
◽
pp. 3061-3081
◽
2005 ◽
Vol 33
(6)
◽
pp. 1931-1943
◽
1993 ◽
Vol 21
(5)
◽
pp. 547-551
◽
1992 ◽
Vol 63
(4)
◽
pp. 2351-2356
◽
2005 ◽
pp. 257-284
◽