В статье рассмотрены основные типы CNTFET транзисторов, изготовленных на углеродных нанотрубках. Представлена классификация, особенности конструкции и основные этапы технологии изготовления CNTFET транзисторов. Полевые транзисторы из углеродных нанотрубок (CNTFET) являются перспективными наноразмерными устройствами для реализации высокопроизводительных схем с очень плотной и низкой мощностью.
The article considers the main types of CNTFET transistors made on carbon nanotubes. The classification, design features and the main stages of the CNTFET transistor manufacturing technology are presented. Carbon nanotube field effect transistors (CNTFET) are promising nanoscale devices for implementing high-performance circuits with very dense and low power.
High-Performance Carbon Nanotube Field Effect Transistors with a Thin Gate Dielectric Based on a Self-Assembled Monolayer