Scalable Preparation of High-Density Semiconducting Carbon Nanotube Arrays for High-Performance Field-Effect Transistors

ACS Nano ◽  
2018 ◽  
Vol 12 (1) ◽  
pp. 627-634 ◽  
Author(s):  
Jia Si ◽  
Donglai Zhong ◽  
Haitao Xu ◽  
Mengmeng Xiao ◽  
Chenxi Yu ◽  
...  
Nano Letters ◽  
2007 ◽  
Vol 7 (1) ◽  
pp. 22-27 ◽  
Author(s):  
Ralf Thomas Weitz ◽  
Ute Zschieschang ◽  
Franz Effenberger ◽  
Hagen Klauk ◽  
Marko Burghard ◽  
...  

2021 ◽  
Author(s):  
Марина Евгеньевна Сычева ◽  
Светлана Анатольевна Микаева

В статье рассмотрены основные типы CNTFET транзисторов, изготовленных на углеродных нанотрубках. Представлена классификация, особенности конструкции и основные этапы технологии изготовления CNTFET транзисторов. Полевые транзисторы из углеродных нанотрубок (CNTFET) являются перспективными наноразмерными устройствами для реализации высокопроизводительных схем с очень плотной и низкой мощностью. The article considers the main types of CNTFET transistors made on carbon nanotubes. The classification, design features and the main stages of the CNTFET transistor manufacturing technology are presented. Carbon nanotube field effect transistors (CNTFET) are promising nanoscale devices for implementing high-performance circuits with very dense and low power.


Author(s):  
Марина Евгеньевна Сычева ◽  
Светлана Анатольевна Микаева

В статье рассмотрены нанотранзисторы и основные свойства нанотрубок. Представлен обзор CNTFET транзисторов и основные особенности технологии их изготовления. Полевые транзисторы из углеродных нанотрубок (CNTFET) являются перспективными наноразмерными устройствами для реализации высокопроизводительных схем с очень плотной и низкой мощностью. Проводящий канал CNTFET представляет собой углеродную нанотрубку. The article deals with nanotransistors and the main properties of nanotubes. An overview of CNTFET transistors and the main features of their manufacturing technology is presented. Carbon nanotube field effect transistors (CNTFETs) are promising nanoscale devices for implementing high-performance circuits with very dense and low power. The CNTFET conducting channel is a carbon nanotube.


Nano Letters ◽  
2009 ◽  
Vol 9 (12) ◽  
pp. 4209-4214 ◽  
Author(s):  
Li Ding ◽  
Sheng Wang ◽  
Zhiyong Zhang ◽  
Qingsheng Zeng ◽  
Zhenxing Wang ◽  
...  

2018 ◽  
Vol 67 (2) ◽  
pp. 028201
Author(s):  
Zhu Qi ◽  
Yuan Xie-Tao ◽  
Zhu Yi-Hao ◽  
Zhang Xiao-Hua ◽  
Yang Zhao-Hui

Science ◽  
2020 ◽  
Vol 368 (6493) ◽  
pp. 850-856 ◽  
Author(s):  
Lijun Liu ◽  
Jie Han ◽  
Lin Xu ◽  
Jianshuo Zhou ◽  
Chenyi Zhao ◽  
...  

Single-walled carbon nanotubes (CNTs) may enable the fabrication of integrated circuits smaller than 10 nanometers, but this would require scalable production of dense and electronically pure semiconducting nanotube arrays on wafers. We developed a multiple dispersion and sorting process that resulted in extremely high semiconducting purity and a dimension-limited self-alignment (DLSA) procedure for preparing well-aligned CNT arrays (within alignment of 9 degrees) with a tunable density of 100 to 200 CNTs per micrometer on a 10-centimeter silicon wafer. Top-gate field-effect transistors (FETs) fabricated on the CNT array show better performance than that of commercial silicon metal oxide–semiconductor FETs with similar gate length, in particular an on-state current of 1.3 milliamperes per micrometer and a recorded transconductance of 0.9 millisiemens per micrometer for a power supply of 1 volt, while maintaining a low room-temperature subthreshold swing of <90 millivolts per decade using an ionic-liquid gate. Batch-fabricated top-gate five-stage ring oscillators exhibited a highest maximum oscillating frequency of >8 gigahertz.


Sign in / Sign up

Export Citation Format

Share Document