Optische Kohärenztomographie zur kombinierten Form- und Zentrierprüfung kleinaperturiger optischer Komponenten / Optical coherence tomography for combined form and centration measurement of small-aperture optical components

Zusammenfassung Kleinaperturige optische Komponenten mit komplexer Form spielen zunehmend eine Rolle bei Sensing- und Imagingapplikationen. Die messtechnische Charakterisierung dieser Bauteile stellt jedoch noch immer eine Herausforderung dar. Es wurde ein auf optischer Kohärenztomographie basierendes Verfahren entwickelt, welches in der Lage ist, die Form- und Zentrierung beider Funktionsflächen kleinaperturiger Linsen mit nur einer Messung zu erfassen. Die Herausforderung stellt dabei die Messung der dem Messkopf abgewandten Funktionsfläche dar, da diese aufgrund der Lichtbrechung an der dem Messkopf zugewandten Funktionsfläche verzerrt gemessen wird.